1、接觸式測(cè)試
將藍(lán)寶石襯底片置放在基準(zhǔn)環(huán)的3個(gè)支點(diǎn)上，3支點(diǎn)形成一個(gè)基準(zhǔn)平面，利用低壓力位移指示器沿規(guī)定路徑測(cè)量藍(lán)寶石襯底片偏離基準(zhǔn)平面的距離，記錄成對(duì)位移指示器的讀數(shù)并求其差值，針對(duì)一系列成對(duì)數(shù)值的差值取其最大值與最小值的差值除以2，該得值即表示襯底片的翹曲度。
2、非接觸式測(cè)試
將藍(lán)寶石襯底片置放在基準(zhǔn)環(huán)的3個(gè)支點(diǎn)上，3支點(diǎn)形成一個(gè)基準(zhǔn)平面，利用非接觸式位移傳感器沿規(guī)定路徑測(cè)量藍(lán)寶石襯底片偏離基準(zhǔn)平面的距離，記錄成對(duì)位移指示器的讀數(shù)并求其差值，針對(duì)一系列成對(duì)數(shù)值的差值，取其最大值與最小值的差值除以2，該得值即表示襯底片的翹曲度。
3、白光干涉式測(cè)試
激光照射藍(lán)寶石襯底片表面，光經(jīng)過(guò)反射相互疊加干涉，干涉圖經(jīng)光學(xué)成像系統(tǒng)記錄，開(kāi)始高低形貌測(cè)量；物鏡在Z軸方向上不斷微小的移動(dòng)，在每個(gè)移動(dòng)位置上，光學(xué)成像系統(tǒng)進(jìn)行拍照收集圖片，形成整個(gè)三維形貌數(shù)據(jù)。經(jīng)信號(hào)處理系統(tǒng)后得到襯底片的翹曲度。

LED用襯底材料一般有藍(lán)寶石襯底、碳化硅襯底及硅襯底三種，其中藍(lán)寶石襯底應(yīng)用最廣泛，因?yàn)槠浼庸し椒ㄒ约凹庸こ杀镜扰c其他兩種相比較都有不小的優(yōu)勢(shì)。
雖說(shuō)在晶格匹配上面是氮化家襯底砷化該襯底最為匹配，但其生產(chǎn)加工方法要比碳化硅及硅等都更難上加難。 藍(lán)寶石襯底片翹曲度試驗(yàn)可測(cè)定藍(lán)寶石切割片、研磨片、拋光片的翹曲度。
健明迪檢測(cè)可靠性實(shí)驗(yàn)中心具備各種藍(lán)寶石襯底片的力學(xué)試驗(yàn)?zāi)芰Γ瑸樗{(lán)寶石襯底片提供專(zhuān)業(yè)的翹曲度力學(xué)試驗(yàn)服務(wù)。

健明迪檢測(cè)可靠性實(shí)驗(yàn)中心具備各種藍(lán)寶石襯底片的力學(xué)試驗(yàn)?zāi)芰Γ瑸樗{(lán)寶石襯底片提供專(zhuān)業(yè)的翹曲度力學(xué)試驗(yàn)服務(wù)。

GB/T 31352-2014 藍(lán)寶石襯底片翹曲度測(cè)試方法
GB/T 2828.1計(jì)數(shù)抽樣檢驗(yàn)程序 第1部分：按接收質(zhì)量限（AQL）檢索的逐批檢驗(yàn)抽樣計(jì)劃
GB/T 6620硅片翹曲度非接觸式測(cè)試方法
GB/T14264 半導(dǎo)體材料術(shù)語(yǔ)

適用于直徑50.8 mm~304.8 mm，厚度為不小于200 μm的藍(lán)寶石襯底片。